051 许老当场拍板，五万亩商用土地妥了！（第一更）（3 / 7）
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所有光刻机基本原理都是一样的，
就是通过一定波长的光源，
把设计好的电路图绘制到空白晶片上。
想要研发出EUV光刻机，
最关键的是研发出这三个模块：
光源模块！
镜头模块！
双工件台模块！
眼下研发这个三个模块的技术已经都有了，
只需要逐项研发即可。
叶龙并没有从光源模块开始，
而是先选择了双工件台模块，
原因很简单，
双工件台机械结构复杂，
上面的零件超过一万个，
而且都是非标准零件，
加工起来难度比较大，
耗费时间自然长一些，
所以叶龙决定先把双工件台图纸设计好，
在工人加工的时间里面，