057 EUV光刻机三大核心模块研发完毕,CES电子消费展留下后手!(第四更)(1 / 5)
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当时叶龙查看这项技术的时候,异常兴奋。
搞懂原理之后,
马上研发,
很快搞定。
刚刚他试验过了,
光源模块满足要求,
比他预想的效果还要好。
紧接着,
他马上又研发镜头模块。
这也是重中之重。
要求极高:
一,超高精度。【镜头均匀度,纯净度,镜片数量要多】
二,反射效率要极高。【表面涂层避光性要极高,对涂层材料要求极高,一般镀有采用Mo/Si的多层膜结构】
三,少损失能量。【距离短,反射镜片少】
目前全球范围内,
能够制造这种镜头的,只有德意志国的蔡司镜头才能满足要求。
荷国阿斯麦公司的EUV光刻机,采用的就是这种镜头。
当然,
如此先进的镜头,
有米国的阻挠,
夏国公司自然买不到。