第798章 隧道的尽头（大结局）（2 / 13）

有了技术成熟的超透镜，国内就可以实现从第二代duv光刻机向第四代超透镜光刻机的技术跨越。

“周院长，恭喜你们！你们这个项目取得了重大突破，是非常有意义的一件事情。

之前在euv光刻机的研发过程中，物镜系统就是最大的拦路虎。尽管光机所已经完成了这个子项的研发，但进度也延迟了太长的时间，使得总体项目最起码拖后了两三年。”

萧白听完，也不禁感慨了一番。

物镜系统的关键是光学镜头，而这一块，国内的技术水平和国际巨头们相差较大。

尼康和佳能本身就是光学镜头的顶尖制造商，所以他们在光刻机方面曾经领先了很多年。而阿斯麦生产的光刻机，则采用了卡尔蔡司的光学镜头，在技术上也有保障。

浦东微电子设备由于进口受限，很多关键的零部件都没办法进行采购，只能寄希望于国产。

这才是国内组织多家科研院所，参与到euv光刻机的研发过程中的主要原因。

但在超透镜方面，大家的起点是一样的。

国内目前已经基本上攻克了光刻机的光源系统和对准系统，只要有了一流的超透镜，那么在第四代光刻机这个赛道上，就不至于掉队。

这件事的意义正如萧白所说的那样，非常重大。

“是啊，萧董。现在国内的euv光刻机研发已经进入到了冲刺阶段，再有两三年就能拿出来第一台样机。

虽然在技术上我们和国际巨头相比还有差距，但也为第四代光刻机的研发打下了坚实的基础。”

周思毅笑着点点头，他对于未来充满了期待。

“这样，周院长，回头我再给你们拨付2亿美元的研发经费，你们一定要尽快拿下超透镜技术。”

萧白在技术投入上一向很大方，这一次也不例外。

“萧董，请你放心！有了足够的资金支持，我这边一定会加快研发的进度，很快就会见到成果。”

周思毅信心满满，他本来也想和萧白提经费的事情，没想到还没开口就拿到了2亿美元。

这个数字比他形象的还要多很多。

随后，萧白在周思毅的陪同下，视察了研究院的各部门以及各个项目小组。

对于时代科技研究院取得的成绩，他感到很欣慰。