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第四十九章 来到(2 / 4)

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“其他两个部件,工作台和光源,因为控制系统还没有写入到控制芯片中,无法测试。”

“但,部分能够测试的项目,我们已经进行了测试。”

“性能极为优秀!”

“按照这些情况判断,我估计,成功的可能性很大,超过半数。”最终,伯灵院士给了一个极为保守的估计。

“伯灵院士,这个控制系统,你们能不能自行攻克?机器都生产出来了,区区一个控制系统,应该不太难吧?”李侍郎点了点头,然后继续问道。

“李侍郎,短时间内我们自己做不出来。”

“控制系统非常难!”

“工件台的控制系统,控制工件台移动,移动时候允许误差是2纳米!”

“光源的控制系统,要求让光源的光极为稳定,必须一直保持193纳米的波长,必须一直保持25瓦的输出功率。”

“这些,我们都做不到。”

“想要做到,需要3年!这还是有实物作为研究对象的情况下,如果没有韩阳提供的这些技术资料,至少需要5年时间,投入大量资金进行研发。”伯灵院士满脸凝重的说道。

“我明白了!还有一件事,你们搞清楚,韩阳的duv浸润式光刻机技术,是从什么地方来的吗?”李侍郎又问了一个问题出来。

“李侍郎,我们不知道,韩阳的duv浸润式光刻机和世界上其他几家的都不一样,和其他几家光刻机厂商没有任何关系。”

“但,李侍郎,我觉得这个问题不要探究!技术的来路不重要,重要的是,我们终于有技术可用了,这比什么都重要。”伯灵院士严肃的说道。

李侍郎不可置否的笑了笑。

……

韩阳和黄总赶到海上微电公司的时候,天已经完全黑了。

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