第二百五十八章 光刻机组装计划（2 / 5）

而他也正在为这件事情努力着。

将这两封信放在了一旁，他重新将目光投向眼前的屏幕。

只见屏幕上，显示着一个由无数颗代表了原子的球体连接而成的晶体结构。

这些原子的结构十分奇特，但是如果一看的话，却也会发现其中的规律，如果从其某一个晶面来看的话，就会发现它每一个晶面的原子都是错位的。

而这就是林晓研究了这么久之后，经过缜密的计算后，得出来的一个能够放大和缩小x光的晶体结构。

当然，这只是他计算出来的结果，现在还需要通过模拟来确定其实际效果如何。

“嗯，现在该进行模拟了。”

从软件中找到了代表x光的选项，然后便开始设置x光的照射方向和角度，以及波长。

根据他之前的计算，能够更好地发挥衍射作用，x光的波长不能太小了，不然的话，波长太小的x光，穿透性能也更强，想要控制其衍射，就更难了。

所以，x光的波长应当为356nm。

而这是利用衍射效应，所以不能像euv光那样垂直照射，而是需要一个角度，也正是需要利用控制x光的入射角度，来控制x光的放大和缩小。

“唔，那就从3度入射角开始吧。”

输入了几个数据后，眼前的三维坐标系上便出现了一道代表了x光的粗虚线，这条粗虚线直直地照进了眼前的晶体结构当中，随后，x光便开始在其中开始了衍射的过程，粗的虚线在衍射的过程中，被分解为了几道虚线，然后又不断地在里面穿透，直到最后，穿透了这个晶体，最后形成了一个更大的照射面。

看到这一幕，林晓微微一笑。

不错，就和计算中的一样。

当入射角小于575度的时候，x光就能够被放大，而入射角大于这个角度的时候，x光就会被缩小。

这个放大和缩小并不是指将光线的波长放大和缩小，而是将x光束的辐照范围给放大和缩小，就像是在太阳光底下拿着放大镜聚焦或者扩散一样，这是一个道理。

通过这种方式，x光就拥有了规模生产的能力。