第53章 铍，三组不同的比例（1 / 3）

苏哲看着惊呼的众人，脸上露出了笑容。

此时此刻，牛光辉和司文博两人也是异常的兴奋。

两人看着大屏幕上两组加工镜片的检测数据，知道这次是稳了。

“不错不错！这样的结果才是我愿意看到的，这下大家也不用猜了，都能安心了。”牛光辉笑着说。

“的确！两组能有这样的检测数据，说明了dYN-离子束抛光技术的稳定性。”司文博肯定的说，“老牛！要是你们搞的等离子体EUV光源突破了就好了，那我们造出来的EUV光刻机就有竞争力了。”

“我也想啊！我们研究团队……”牛光辉还没说完，站在台上的包正义拿着话筒又喊了起来。

“各位注意了，这两组的检测的结果还有提升空间，dYN-离子束抛光技术在理论上，镜面精度能够达到0.06纳米的面型精度峰谷值和10皮米的表面粗糙度。”

“有了dYN-离子束抛光技术，我们就能进军高端光学镜头市场了，最典型的就是EUV光学镜头，最为……”

苏哲听了一会儿，发现和范晓明说的一样，开始展望未来了。

牛光辉和司文博两人笑了笑。

“老牛！我们继续。”司文博笑着说。

“好！”牛光辉继续说等离子体EUV光源的问题。

苏哲一边听着，一边在脑中快速的计算着。

牛光辉相关的参数说的很详细，也点出了问题的所在，及锡滴在大功率波长10.6微米红外光的照射下会出现不稳，导致的结果是无法获得波长13.5纳米的紫外光。

听完这些，苏哲没在听牛光辉和司文博两人的讨论了，自顾自的在大脑中计算起来。

说来也巧，这等离子体EUV光源产生的原理和他研究的ZGZ-原子振动模型有点关系。

他们大的框架是一样的，及原子在特定的状态下吸收了特定波长的电磁波，从而释放了波长特定的电磁波。

相对来说，ZGZ-原子振动模型是个特列。

苏哲有了搭建ZGZ-原子振动模型的经验，计算EUV光刻机使用的EUV光源的速度要快的多。